Мікроелектронний термоемнісний вимірювальний перетворювач

Abstract

UA : В основу корисної моделі поставлено задачу створення мікроелектронного термоємнісного вимірювального перетворювача, в якому за рахунок поєднання біметалевої мембрани з затвором МОН - транзистору забезпечується підвищення точності вимірювань, виключається необхідність модуляції інтенсивності випромінювання і геометричних розмірів приладу.

EN : The utility model is based on the task of creating a microelectronic thermoelectric measuring transducer, in which, due to the combination of a bimetallic membrane and a MOS - transistor gate, the measurement accuracy is increased, the need for modulating the radiation intensity and the geometric dimensions of the device is eliminated.

RU : В основу изобретения поставлена задача создания микроэлектронного термоемкостного измерительного преобразователя, в котором за счет сочетания биметаллической мембраны с затвором МОП - транзистора обеспечивается повышение точности измерений, исключается необходимость модуляции интенсивности излучения и геометрических размеров устройства.