Дослідження та розробка пристрою для контролю якості МДН-структур

Лимарчук, Олексій Станіславович

Дослідження та розробка пристрою для контролю якості МДН-структур

Лимарчук, Олексій Станіславович

URI: https://dspace.znu.edu.ua/jspui/handle/12345/17411

Дата: 2023

Короткий опис(реферат):

UA : Розроблено пристрій з системою автоматизації процесів відпалу напівпровідникових структур на сучасній елементній базі з точністю вимірювання до 0,5 °С.

EN : The device has been developed with a process automation system based on conductor structures on a separate element base with a vibration accuracy of up to 0.5 °C.

Опис:

Лимарчук О. С. Дослідження та розробка пристрою для контролю якості МДН-структур : кваліфікаційна робота магістра спеціальності 153 "Мікро- та наносистемна техніка" / наук. керівник З. А. Ніконова. Запоріжжя : ЗНУ, 2023. 83 с.

Показати повний опис матеріалу