UA: На основі принципів створення MEMC було запропоновано структуру термоперетворювача елементу живлення, що містить піроелектричний чутливий елемент.
RU: На основе принципов создания МЭМС было предложено структуру термопреобразователя элемента питания, содержащего пироэлектрический чувствительный элемент.
EN: Based on the principles of MEMS creation, a structure of a thermocouple containing a pyroelectric sensing element was proposed.