Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.znu.edu.ua/jspui/handle/12345/805| Title: | Разработка технологии создания датчиков мощности излучений |
| Other Titles: | Development of radiation power sensors technology Розробка технології створення датчиків потужності випромінювань |
| Authors: | Киселев, Егор Николаевич |
| Keywords: | технологические операции технологічні операції technological operations золь – гель процесс sol - gel process золь - гель процес |
| Issue Date: | Apr-2004 |
| Publisher: | Видавництво ЗДІА |
| Citation: | Киселев, Е. Н. Разработка технологии создания датчиков мощности излучений / Е. Н. Киселев // ІХ науково-технічна конференція викладачів та студентів ЗДІА. 19 - 23 квітня 2004 р. Ч. 3. Секція "Електроніка та електронні технології" / ЗДІА. - Запоріжжя : ЗДІА, 2004. – С. 34-35 |
| Abstract: | RU: В разработанной технологии характерно использование локального окисления, селективного травления, элементов мембранной и гибридной технологий EN: The developed technology is characterized by the use of local oxidation, selective etching, elements of membrane and hybrid technologies UA: У розробленій технології характерно використання локального окислення, селективного травлення, елементів мембранної і гібридної технологій |
| URI: | https://dspace.znu.edu.ua/jspui/handle/12345/805 |
| Appears in Collections: | Наукові видання кафедри електроніки, інформаційних систем та програмного забезпечення |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Раработка технологии.pdf | 194.64 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.