RU: В работе представлены результаты исследования технологии изготовления интегрального датчика лучистой энергии, представляющего собой гибридную интегральную микросборку, включающую преобразователь лучистой энергии и микропроцессорную систему управления.
EN: The paper presents the research results of the technology of manufacturing the integral radiant energy sensor, which is a hybrid integrated microassembly including a radiant energy transducer and a microprocessor control system.
UA: В роботі наведено результати дослідження технології виготовлення інтегрального датчика променевої енергії, що представляє собою гібридну інтегральну мікрозборку, що включає перетворювач променевої енергії і мікропроцесорну систему управління.
