dc.contributor.author |
Киселев, Егор Николаевич |
|
dc.date.accessioned |
2018-08-06T11:49:04Z |
|
dc.date.available |
2018-08-06T11:49:04Z |
|
dc.date.issued |
2004-04 |
|
dc.identifier.citation |
Киселев, Е. Н. Разработка технологии создания датчиков мощности излучений / Е. Н. Киселев // ІХ науково-технічна конференція викладачів та студентів ЗДІА. 19 - 23 квітня 2004 р. Ч. 3. Секція "Електроніка та електронні технології" / ЗДІА. - Запоріжжя : ЗДІА, 2004. – С. 34-35 |
uk |
dc.identifier.uri |
https://dspace.znu.edu.ua/jspui/handle/12345/805 |
|
dc.description.abstract |
RU: В разработанной технологии характерно использование локального окисления, селективного травления, элементов мембранной и гибридной технологий |
uk |
dc.description.abstract |
EN: The developed technology is characterized by the use of local oxidation, selective etching, elements of membrane and hybrid technologies |
uk |
dc.description.abstract |
UA: У розробленій технології характерно використання локального окислення, селективного травлення, елементів мембранної і гібридної технологій |
uk |
dc.language.iso |
ru |
uk |
dc.publisher |
Видавництво ЗДІА |
uk |
dc.subject |
технологические операции |
uk |
dc.subject |
технологічні операції |
uk |
dc.subject |
technological operations |
uk |
dc.subject |
золь – гель процесс |
uk |
dc.subject |
sol - gel process |
uk |
dc.subject |
золь - гель процес |
uk |
dc.title |
Разработка технологии создания датчиков мощности излучений |
uk |
dc.title.alternative |
Development of radiation power sensors technology |
uk |
dc.title.alternative |
Розробка технології створення датчиків потужності випромінювань |
uk |