RU: В разработанной технологии характерно использование локального окисления, селективного травления, элементов мембранной и гибридной технологий
EN: The developed technology is characterized by the use of local oxidation, selective etching, elements of membrane and hybrid technologies
UA: У розробленій технології характерно використання локального окислення, селективного травлення, елементів мембранної і гібридної технологій
