Разработка технологии создания датчиков мощности излучений

Киселев, Егор Николаевич

dc.contributor.author	Киселев, Егор Николаевич
dc.date.accessioned	2018-08-06T11:49:04Z
dc.date.available	2018-08-06T11:49:04Z
dc.date.issued	2004-04
dc.identifier.citation	Киселев, Е. Н. Разработка технологии создания датчиков мощности излучений / Е. Н. Киселев // ІХ науково-технічна конференція викладачів та студентів ЗДІА. 19 - 23 квітня 2004 р. Ч. 3. Секція "Електроніка та електронні технології" / ЗДІА. - Запоріжжя : ЗДІА, 2004. – С. 34-35	uk
dc.identifier.uri	https://dspace.znu.edu.ua/jspui/handle/12345/805
dc.description.abstract	RU: В разработанной технологии характерно использование локального окисления, селективного травления, элементов мембранной и гибридной технологий	uk
dc.description.abstract	EN: The developed technology is characterized by the use of local oxidation, selective etching, elements of membrane and hybrid technologies	uk
dc.description.abstract	UA: У розробленій технології характерно використання локального окислення, селективного травлення, елементів мембранної і гібридної технологій	uk
dc.language.iso	ru	uk
dc.publisher	Видавництво ЗДІА	uk
dc.subject	технологические операции	uk
dc.subject	технологічні операції	uk
dc.subject	technological operations	uk
dc.subject	золь – гель процесс	uk
dc.subject	sol - gel process	uk
dc.subject	золь - гель процес	uk
dc.title	Разработка технологии создания датчиков мощности излучений	uk
dc.title.alternative	Development of radiation power sensors technology	uk
dc.title.alternative	Розробка технології створення датчиків потужності випромінювань	uk