Дослідження та розробка системи керування параметрами п’єзоелектричних мікродвигунів

Abstract

UA : Розроблено систему керування параметрами п’єзоелектричного мікродвигуна, проведено моделювання роботи у складі системи автоматизованого керування атомно-силовим мікроскопом.EN : A control system for the parameters of the piezoelectric micromotor was developed, and simulations of the operation as part of the automated control system of the atomic force microscope were carried out.