Дослідження методів отримання полікристалічного кремнію і розробка пристрою створення стрижнів особливої чистоти

Simple item page
dc.contributor.authorАфанасієвський, Микола Сергійович
dc.date.accessioned2025-12-29T12:05:12Z
dc.date.available2025-12-29T12:05:12Z
dc.date.issued2025
dc.descriptionАфанасієвський М. С. Дослідження методів отримання полікристалічного кремнію і розробка пристрою створення стрижнів особливої чистоти : кваліфікаційна робота магістра спеціальності 176 "Мікро- та наносистемна техніка" / наук. керівник З. А. Ніконова. Запоріжжя : ЗНУ, 2025. 96 с.uk
dc.description.abstractUA : Розроблено блок контролю температури відпалу, що дозволяє знизити вірогідність неконтрольованого забруднення полікристалічного кремнію.uk
dc.description.abstractEN : An annealing temperature control unit has been developed, which reduces the likelihood of uncontrolled contamination of polycrystalline silicon.uk
dc.identifier.urihttps://dspace.znu.edu.ua/items/622e68d0-e918-4f7f-b4a9-e6d00bfe2d1c
dc.language.isoukuk
dc.subjectводеньuk
dc.subjectполікристалічний кремнійuk
dc.subjectмоносиланuk
dc.subjectфосфорuk
dc.subjectборuk
dc.subjectдонориuk
dc.subjecthydrogenuk
dc.subjectpolycrystalline siliconuk
dc.subjectmonosilaneuk
dc.subjectphosphorusuk
dc.subjectboronuk
dc.subjectdonorsuk
dc.titleДослідження методів отримання полікристалічного кремнію і розробка пристрою створення стрижнів особливої чистотиuk
dc.typeМагістерська роботаuk

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
Afanasievskiy Mykola.pdf
Size:
2.43 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Магістерська робота
Download

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
license.txt
Size:
3.81 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download

Collections

Кваліфікаційні випускні роботи здобувачів магістерського рівня вищої освіти кафедри електроніки, інформаційних систем та програмного забезпечення