Дослідження методів отримання полікристалічного кремнію і розробка пристрою створення стрижнів особливої чистоти
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
UA : Розроблено блок контролю температури відпалу, що дозволяє знизити вірогідність неконтрольованого забруднення полікристалічного кремнію.
EN : An annealing temperature control unit has been developed, which reduces the likelihood of uncontrolled contamination of polycrystalline silicon.
EN : An annealing temperature control unit has been developed, which reduces the likelihood of uncontrolled contamination of polycrystalline silicon.
Description
Афанасієвський М. С. Дослідження методів отримання полікристалічного кремнію і розробка пристрою створення стрижнів особливої чистоти : кваліфікаційна робота магістра спеціальності 176 "Мікро- та наносистемна техніка" / наук. керівник З. А. Ніконова. Запоріжжя : ЗНУ, 2025. 96 с.