Методи дослідження матеріалів та компонентів мікро- та наноелектронної техніки

Abstract

UA : У методичних рекомендаціях до практичних занять і виконання індивідуального завдання у систематизованому вигляді подано програмний матеріал дисципліни «Методи дослідження матеріалів мікро-та наноелектронної техніки». Окреслено тематику практичних занять та детальні методичні рекомендації по їх виконанню; описано вимоги до індивідуального завдання, наведені питання до самоконтролю та список рекомендованої літератури. Для здобувачів ступеня вищої освіти магістра спеціальності Мікро-та наносистемна техніка» освітньо-професійної програми «Мікроелектронні інформаційні системи».