Дослідження системи керування MEMS модулятором

Abstract

UA: Показано, що максимум характеристики R(f) сенсора зсувається в бік більш низьких частот при збільшенні товщини шару піроелектрика. При цьому також спостерігається зменшення чутливості з 3,3 В / Вт до 1,2 В / Вт.EN: It is shown that the maximum of the sensor characteristic R (f) is shifted toward lower frequencies with increasing thickness of the pyroelectric layer. At the same time, the sensitivity decreases from 3.3 V / W to 1.2 V / W.RU: Показано, что максимум характеристики R (f) сенсора сдвигается в сторону более низких частот при увеличении толщины слоя пироэлектричество. При этом также наблюдается уменьшение чувствительности с 3,3 В / Вт до 1,2 В / Вт.