Дослідження та розробка пристрою для контролю якості МДН-структур
Loading...
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
UA : Розроблено пристрій з системою автоматизації процесів відпалу напівпровідникових структур на сучасній елементній базі з точністю вимірювання до 0,5 °С.
EN : The device has been developed with a process automation system based on conductor structures on a separate element base with a vibration accuracy of up to 0.5 °C.
EN : The device has been developed with a process automation system based on conductor structures on a separate element base with a vibration accuracy of up to 0.5 °C.
Description
Лимарчук О. С. Дослідження та розробка пристрою для контролю якості МДН-структур : кваліфікаційна робота магістра спеціальності 153 "Мікро- та наносистемна техніка" / наук. керівник З. А. Ніконова. Запоріжжя : ЗНУ, 2023. 83 с.