Дослідження процесу легування при виробництві монокристалів кремнію

Abstract

UA : У дипломному проекті проаналізовано процес легування при вирощуванні монокристалів кремнію за методом безтигельної зонної плавки доцільно виробляти з газової фази. Досліджено забезпечення рівномірної подачі легуючої речовини до зони розплаву розроблені новий метод і пристрій для легування монокристалів кремнію.EN : The thesis project analyzed the process of lamination during the spinning of silicon single crystals using the method of crucibleless zone melting until they completely dissolve from the gas phase. A new method and device for doping single crystals with silicon has been ensured to ensure an even supply of light resin to the melt zone.